光学デバイス

紫外線センサUV-300K

高性能な製造ライン用紫外線センサ高耐久紫外-可視波長変換ガラス採用
一定の光量が当たっているかを常時監視する紫外線センサ。ランプの劣化、不点灯をモニタし、ランプ交換を適切に管理することができます。
ランプの光量変動をフィードバックすることで、光量を安定させます。
動作モードは光量モード・積算モードの2種類を搭載。またアナログ出力は電圧１〜５V/電流４〜２０mAを標準装備。さらにティーチングによる感度設定、アンサーバック機能も搭載しています。

使用用途

紫外線センサは、産業プロセスの制御、品質管理、安全性向上、効率化、環境保護など、さまざまな目的で幅広く利用されています。

半導体製造装置：半導体製造工程で露光プロセスの制御
水処理：水の殺菌、滅菌工程における紫外光の管理
UVキュア：UV硬化接着剤による工程管理
照明：磁粉探傷における紫外光のモニタ
印刷：インクやコーティング材料が適切に硬化する紫外光の確認
空気清浄：食品工場などの紫外光の空気清浄の光量管理
フィルム：表面改質の紫外光管理

構成

使用例

露光装置
殺菌、滅菌

アンプ本体仕様

形式	UV-300K
動作表示灯	赤色LED（検出出力ONで点灯）
測定光量範囲※	UV-T254、UV-T365、UV-L、UV-S 【254nm】0.1〜30mW/cm², 高感度ヘッド使用時：0.01〜3mW/cm² 【365nm】3〜900mW/cm², 高感度ヘッド使用時：0.3〜90mW/cm² UV-T405 【405nm】300～9,000mW/cm²
外部ティーチング入力外部リセット入力	ON：0〜1.5V（0V短絡電流1mA以下） OFF：オープンまたは4〜30V
光量値表示（相対値）	3桁LED 光量モード：０〜125% 積算モード：0〜200%
検出出力アンサーバック出力	NPNオープンコレクタ（DC30V、100mA以下）
アナログ出力	スイッチにより電圧/電流切替 1〜5V（0〜100%, 6V/125%） 4〜20mA (0〜100%, 24mA/125%)
検出出力閾値設定	スイッチにより1%ステップで設定光量モード:10〜100% 積算モード:10〜200%
感度設定	ティーチング（100%値に設定）最低感度、最高感度、ゼロ点設定
ケーブル	0.15mm²シールド付き7芯キャブタイヤケーブルφ5.5mm×2m
繰り返し精度	±2%F.S.以下
温度ドリフト	0.1%F.S./℃以下
使用環境	温度：-25〜+55℃ /35〜85% RH（結露、氷結なし）
電源電圧	DC12〜24V±10%（リップルP−P10%以下）
応答時間	300ms以下
消費電流	50mA以下（出力電流は除く）
質量	約140g

※ 254nm: オーク製作所 UV-M02(UV-25) 365nm: ウシオ電機 UIT-101 (UVD-365PD)　405nm: オーク製作所 UV-42

センサヘッド仕様

形式※	UV-T405	UV-T365	UV-T254	UV-L	UV-S
特徴	耐熱			ロングスリーブ	ショートスリーブ
モニタ波長域	200～330nm、360～420nm、 455～476nm、517～600nm	300〜380nm	170〜380nm
温度ドリフト	-0.3%/℃以下(at254nm) -0.1%/℃以下(at365nm) -0.06%/℃以下(at405nm)	-0.1%/℃以下
使用環境	温度：-40〜+300℃/ 35〜85% RH（結露、氷結なし）			温度：-40〜+150℃/ 35〜85% RH（結露、氷結なし）
材質	紫外−可視波長変換ガラス、SUS
付属品	M6ナット、座金

※ UV-T365,UV-T254には高感度ヘッドUV-T365W,UV-T254Wがあります。

ライトガイド仕様

形式	UV-H	UV-F
特徴	耐熱	フリーカット
使用環境	温度：-40〜+300℃/ 35〜85% RH（結露、氷結なし）	温度：-40〜+70℃/ 35〜85% RH（結露、氷結なし）
保存温度	-40〜+70℃
全長	2m（紫外線保護チューブ付）	2m（先端１ｍ紫外線保護チューブ付）
材質	多成分ガラス、SUS	アクリル、ポリエチレン、SUS