光学デバイス
UV-300

紫外線センサUV-300

高性能な製造ライン用紫外線センサ高耐久紫外-可視波長変換ガラス採用
一定の光量が当たっているかを常時監視する紫外線センサ。ランプの劣化、不点灯をモニタし、ランプ交換を適切に管理することができます。
ランプの光量変動をフィードバックすることで、光量を安定させます。
動作モードは光量モード・積算モード2種類を搭載。またアナログ出力は電圧1〜5V/電流4〜20mAを標準装備。さらにティーチングによる感度設定、アンサーバック機能も搭載しています。

使用用途

  • 半導体製造装置
  • 殺菌、滅菌
  • UVキュア
  • 照明
  • 印刷
  • 空気清浄
  • 3Dプリンタ
  • 医療

構成

使用例

  • 半導体製造装置

  • 殺菌、滅菌

アンプ本体 仕様

形式 UV-300
動作表示灯 赤色LED(検出出力ONで点灯)
測定光量範囲※ 【254nm】0.1〜30mW/cm², 高感度ヘッド使用時:0.01〜3mW/cm²
【365nm】3〜900mW/cm², 高感度ヘッド使用時:0.3〜90mW/cm²
外部ティーチング入力
外部リセット入力
ON:0〜1.5V(0V短絡電流1mA以下)
OFF:オープンまたは4〜30V
光量値表示(相対値) 3桁LED
光量モード:0〜125%
積算モード:0〜200%
検出出力
アンサーバック出力
NPNオープンコレクタ(DC30V、100mA以下)
アナログ出力 スイッチにより電圧/電流切替
1〜5V(0〜100%, 6V/125%)
4〜20mA (0〜100%, 24mA/125%)
検出出力
閾値設定
スイッチにより1%ステップで設定
光量モード:10〜100%
積算モード:10〜200%
感度設定 ティーチング(100%値に設定)
最低感度、最高感度、ゼロ点設定
ケーブル 0.15mm²シールド付き7芯
キャブタイヤケーブルφ5.5mm×2m
繰り返し精度 ±2%F.S.以下
温度ドリフト 0.1%F.S./℃以下
使用環境 温度:-25〜+55℃ /35〜85% RH(結露、氷結なし)
電源電圧 DC12〜24V±10%(リップルP−P10%以下)
応答時間 300ms以下
消費電流 50mA以下(出力電流は除く)
質量 約140g

※ 254nm: オーク製作所 UV-M02(UV-25) 365nm: ウシオ電機 UIT-101 (UVD-365PD)

センサヘッド 仕様

形式※ UV-T365 UV-T254 UV-L UV-S
特徴 耐熱 ロングスリーブ ショートスリーブ
モニタ波長域 300〜380nm 170〜380nm
温度ドリフト -0.1%/℃以下
使用環境 温度:-40〜+300℃/ 35〜85% RH(結露、氷結なし) 温度:-40〜+150℃/ 35〜85% RH(結露、氷結なし)
材質 紫外−可視波長変換ガラス、SUS
付属品 M6ナット、座金

※ UV-T365,UV-T254には高感度ヘッドUV-T365W,UV-T254Wがあります。

ライトガイド 仕様

形式 UV-H UV-F
特徴 耐熱 フリーカット
使用環境 温度:-40〜+300℃/ 35〜85% RH(結露、氷結なし) 温度:-40〜+70℃/ 35〜85% RH(結露、氷結なし)
保存温度 -40〜+70℃
全長 2m(紫外線保護チューブ付) 2m(先端1m紫外線保護チューブ付)
材質 多成分ガラス、SUS アクリル、ポリエチレン、SUS

※ アンプ挿入部の耐熱温度は+70℃

外観図

  • アンプ [UV-300]

  • 耐熱センサヘッド [UV-T254(黒色ガラス無)/UV-T365]

  • センサヘッド [UV-S(L=50±1)/UV-L(L=100±1)]

  • ライトガイド [UV-H(上)/UV-F(下)]

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